北齐君主逃到洪洞时，冯淑妃还在对着镜子涂脂抹粉，后来听到外面混乱的喊声，有人高呼贼军来了，两人这才再次逃走。此前北齐君主认为冯淑妃有功劳，打算立她为左皇后，派宦官前往晋阳取皇后的服饰仪仗等。这时，宦官在半路遇到了君主，君主勒住马缰停下，让冯淑妃换上皇后礼服，然后才继续逃走。
辛亥日，北周君主进入平阳城。梁士彦见到君主，握着君主的胡须痛哭说：“臣差点就见不到陛下了！” 君主也为他流下眼泪。
北周君主考虑到将士们疲惫不堪，想要率军撤回。梁士彦拉住君主的马缰绳劝谏说：“如今北齐军队溃散奔逃，军心已然动摇。趁着他们恐惧的时候发起进攻，必定能一举平定北齐。” 君主采纳了他的建议，握着他的手说：“我得到晋州，是平定北齐的根基，若是不能坚守，大事就无法成功。朕没有后顾之忧，只担心后方出现变故，你一定要替我好好守住这里！” 于是率领众将追击北齐军队。众将执意请求向西撤回，君主说：“放走敌人就会留下祸患。你们若是心存疑虑，朕就独自前往。” 众将这才不敢再说话。癸丑日，北周军队追到汾水关。北齐君主逃入晋阳，忧愁恐惧得不知该去往何处。甲寅日，北齐实行大赦。君主向朝中大臣询问计策，大臣们都说：“应当减免赋税、停止徭役，以此安抚民心；收拢溃散的士兵，背城死战，来安定国家社稷。” 君主打算留下安德王高延宗、广宁王高孝珩镇守晋阳，自己前往北朔州。如果晋阳失守，就投奔突厥，群臣都认为这个计划不可行，可君主却不听从。
开府仪同三司贺拔伏恩等三十多名负责宫中警卫的近臣，向西投奔了北周军队，北周君主对他们分别给予了不同等级的封赏。
高阿那肱所部还有一万士兵，镇守高壁，其余部众据守洛女砦。北周君主率军向高壁进发，高阿那肱望风而逃。齐王宇文宪攻打洛女砦，将其攻克。有士兵告发说高阿那肱派人招引北周军队，北齐君主下令让侍中斛律孝卿核查此事，斛律孝卿认为是诬告。返回晋阳后，高阿那肱的心腹又告发他谋反，君主还是认为是诬告，将告发的人斩首。
乙卯日，北齐君主下诏命安德王高延宗、广宁王高孝珩招募士兵。高延宗入宫觐见，君主告诉他自己打算前往北朔州，高延宗哭着劝谏，君主却不听从，还暗中派亲信先把皇太后和太子送到北朔州。
丙辰日，北周君主和齐王宇文宪在介休会师。北齐开府仪同三司韩建业献城投降，北周任命他为上柱国，封为郇公。
当天夜里，北齐君主打算逃走，众将领都不肯依从。丁巳日，北周军队抵达晋阳。北齐君主再次实行大赦，改年号为隆化。任命安德王高延宗为相国、并州刺史，总管太行山以西的军队，对他说：“并州就由兄长你自取吧，我现在要离开了！” 高延宗说：“陛下应当为了国家社稷不要轻举妄动。臣愿为陛下拼死力战，必定能击败周军。” 穆提婆说：“陛下的计策已经定了，大王不能擅自阻挠！” 北齐君主于是连夜冲破五龙门出城，打算投奔突厥，随从官员大多逃散。领军将军梅胜郎勒住马缰绳劝谏，君主才转而向邺城而去。当时只有高阿那肱等十几名骑兵跟随，不久广宁王高孝珩、襄城王高彦道相继赶来，凑得几十人一同随行。
穆提婆向西投奔北周军队，陆令萱自尽身亡，她的家属全部被诛杀、家产也被没收。北周君主任命穆提婆为柱国、宜州刺史。又下诏晓谕北齐群臣说：“若是能竭尽人谋、深明天命，归降我朝，官职荣耀与爵位赏赐，都会有所加隆。若是我朝的将士逃到北齐，无论贵贱，都可既往不咎。” 此后北齐大臣相继投降北周。
起初，北齐高祖（高欢）担任北魏丞相时，让唐邕掌管外兵曹，太原人白建掌管骑兵曹，两人都因擅长文书计算、精通簿记账目而受到重用。等到北齐取代北魏受禅称帝，各部门的事务都划归尚书省管辖；唯独这两个曹署没有废除，还改名为外兵省、骑兵省。唐邕官至录尚书事，白建官至中书令，常年掌管这两省事务，世人并称他们为 **“唐、白”。唐邕还兼任度支尚书，和高阿那肱有嫌隙，高阿那肱便在君主面前诬陷他，北齐君主于是下令让侍中斛律孝卿总管骑兵省和度支省的事务。斛律孝卿处理事务常常独断专行，不再向唐邕征询禀报。唐邕自认是朝廷元老、熟悉