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第439章 悬崖上的舞蹈(3/3)

    “为什么镜头不能浮?”

    “什么意思?”众人不解。

    “我们不用吊臂往下放。”

    林远做了一个向上托举的手势。

    “我们把镜头放在一个气垫上,让它飘进去。”

    “气浮导轨。”

    林远指挥大家,在光刻机的安装孔位上,临时搭建了一个滑梯一样的气浮轨道。

    利用高压气体,在轨道表面形成一层气膜。

    那个巨大的镜头,被放在了气膜上。

    摩擦力几乎为零。

    只需要一根手指头轻轻一推,那个1.5吨的庞然大物,就顺滑地向前滑动。

    “慢点……慢点……”

    山田光一那位投诚的日本专家亲自趴在旁边指挥,眼泪都快流下来了。他这辈子没见过这么野路子的装配方法,但不得不承认,这真他妈稳!

    镜头顺着气轨,一点一点地滑进了安装孔。

    “到位!”

    “锁紧!”

    螺栓拧紧的声音,在此时听起来简直是天籁。

    “安装完成!”

    全场掌声雷动。

    他们用修火车的技术磁悬浮,加上搬运工的智慧气浮,完成了一次世界级的精密装配。

    所有部件归位。

    光源SSmb、光路FSm、镜头high-NA、工件台磁悬浮。

    “通电自检。”

    屏幕上,一个个绿色的“oK”亮起。

    “光源注入。”

    一道深紫色的光,穿过复杂的透镜组,最终投射在底部的硅片上。

    显微镜下。

    一条条清晰、锐利的电路图案显现出来。

    线宽:5纳米。

    虽然离3纳米还有差距,但这已经是目前国产设备的极限,也是世界第二的水平仅次于ASmL的EUV。

    “我们做到了……”

    王海冰瘫坐在地上,浑身湿透。

    林远看着那台发出幽幽蓝光的机器,心中并没有太多激动。

    他知道,这台机器虽然造出来了,但它是个“缝合怪”。

    用了核电站的技术、高铁的技术、化工的技术、甚至土木工程的技术。

    它笨重、昂贵、难以维护。

    但它有一个最大的优点——它是我们自己的。

    每一个螺丝,每一行代码,都是我们自己搞定的。

    没人能再关掉它。

    “顾盼,”林远走出实验室,摘下口罩,“给那些还在观望的国内芯片厂发个消息。”

    “告诉他们,如果不想要美国的许可证,就来找我。”

    “我有更便宜、更听话的机器。”

    “还有,”林远停下脚步,看向东方,“那个日本特工带回去的假数据,应该已经开始发挥作用了吧?”

    “是的。”顾盼坏笑,“情报显示,东和财团刚刚宣布,他们的光刻机项目取得了重大突破,准备投入巨资量产。”

    “很好。”

    林远嘴角勾起一抹冷笑。

    “让他们造。”

    “等他们把钱都砸进那个坑里,发现造出来的是一堆废铁的时候……就是我们收网的时候。”
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