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第415章 暗室微光(2/3)

    “看清了!”赵博士激动得跳了起来,“是驻波!是因为底部抗反射涂层的折射率没调好!”

    “调整bARc配方!折射率增加0.02!再试!”

    虽然这套系统的精度约2纳米不如SEm,速度也慢,但它让墨子团队,终于在黑暗中,看到了一丝微光。

    闭环,重新接通了。

    解决了看的问题,接下来是更难的造的问题。

    江钢集团,焦化厂,精制车间。

    这里是江钢最脏、最臭的地方。黑色的煤焦油在巨大的管道中流淌,空气中充满了硫化氢和苯的味道。

    谁能想到,纳米级光刻胶的源头,竟然是这一堆黑乎乎的粘稠液体。

    林远穿着厚重的防护服,站在一座高达60米的巨大精馏塔前。

    孙大炮指着这座刚刚改造完成的巨塔,声音在防毒面具后显得有些闷。

    “主任,这是我们按您的要求,用316L电解抛光不锈钢重新焊的超级精馏塔。”

    “塔高68米,内部填充了相当于200层楼高的规整填料。”

    “我们的目标,是从煤焦油里,提炼出纯度达到99.9999%(6N)的间甲酚。”

    间甲酚,是合成光刻胶树脂的核心单体。

    日本信越化学,就是靠着对这种单体提纯技术的绝对垄断,卡住了全世界的脖子。

    “现在的纯度是多少?”林远问。

    “99.9%(3N)。”孙大炮无奈地摇摇头,“这已经是工业级的极限了。再往上提,每提高一个9,难度就是指数级上升。”

    “主要杂质是什么?”

    “同分异构体,对甲酚。”

    孙大炮解释道:“间甲酚和对甲酚,沸点只差0.3度!在普通的精馏塔里,它们根本分不开,就像水和奶混在一起一样。”

    “日本人是用结晶法分离的,那是他们的核心机密,我们搞不到。”

    0.3度的沸点差。

    这就是横亘在中国光刻胶产业面前的,一道天堑。

    “不能用结晶法,那就死磕共沸精馏。”

    汉斯走了过来,手里拿着一张复杂的化工流程图。

    “林,孙,德国人在二战时期缺油,就是靠煤化工活下来的。我们有经验。”

    “0.3度分不开,那就加第三者。”

    “我们往里面加一种特殊的夹带剂。这种剂只喜欢跟对甲酚结合,形成共沸物,把它的沸点拉低5度。”

    “这样,沸点差就扩大到了5度。精馏塔就能分开了。”

    “什么夹带剂?”孙大炮问。

    “这需要试。”汉斯耸耸肩,“可能是乙二醇,可能是尿素,也可能是某种复杂的有机胺。”

    “我们用盘古来试。”林远再次祭出了AI。

    “汪总,把已知的2万种化工溶剂的分子式输入模型。模拟它们与甲酚的分子间作用力。”

    “筛选出最可能的100种夹带剂。”

    “然后,孙总,你的任务就是烧。”

    “在实验室里,用这100种剂,没日没夜地烧!直到试出来为止!”

    这是一场暴力穷举的化学实验。

    没有捷径,只有试错。

    接下来的一个月,江钢焦化厂的灯光,彻夜未熄。

    爆炸、泄漏、中毒……

    实验并不顺利。好几次,因为反应釜压力过大,差点把实验室掀翻。

    但没人退缩。

    孙大炮直接把铺盖卷搬到了车间门口。

    “老子就不信了,炼钢能炼出花来,炼个油还能被尿憋死?”

    第83次实验。

    失败。纯度99.95%。

    第156次实验。

    失败。纯度99.99%。

    第214次实验。

    时间已经到了最后期限。国内晶圆厂的显影液库存,只剩下最后三天。

    中芯国际的老总已经把电话打到了郑宏图书记那里,请求国家出面协调进口。

    压力,全部压在了林远身上。

    这天凌晨。

    汉斯突然冲进了林远的办公室,手里举着一个小小的玻璃瓶。

    瓶子里,是一种无色、透明、散发着淡淡杏仁味的液体。

    “林!成功了!”

    “我们用乙二胺+特制分子筛的组合,成功把沸点差拉大到了8度!”

    “这是刚刚出来的色谱分析报告。”

    林远接过报告,目光直接落在了最后一行。

    纯度:99.%(6N)。

    金属离子:< 5 ppb。

    “合格了!”

    林远的手,微微颤抖。

    这瓶看似普通的液体,是中国半导体材料史上的一座丰碑。

    它意味着,我们终于打破了日本对高纯单体长达三十年的垄断
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