“按照公式算下来，干式光刻机的物理极限就是65nm。要想再往下做45nm或者28nm，必须缩短波长 $\lambda$。”
“那就换更短波长的光源啊！”赵子明在旁边急得直跺脚，“既然193nm不行，咱们能不能搞157nm的？”
“搞不了。”朱教授痛苦地抓了抓稀疏的头发，“157nm的F2激光会被空气和所有普通玻璃吸收，必须用萤石（caF2）做镜头。萤石矿和加工技术全被美国人控住了，我们连一块镜片都买不到。”
这是一个完美的死局。
光源波长 $\lambda$ 缩短不了（买不到设备），$NA$ 值提不上去（空气折射率限制）。向阳集团的技术之路，似乎在65nm这个节点上，被一堵看不见的空气墙彻底挡死了。
实验室里一片死寂，只有通风扇嗡嗡的转动声。
林向阳没有说话。他不是神，他不知道ASmL是怎么做的。但他是一个极致的理科生，他相信物理学不会只有一条路。
他走到实验台旁，那里放着半杯纯净水，还有一支用来画图的铅笔。
他端起水杯，准备喝一口润润嗓子。
突然，他的动作停住了。
透过玻璃杯的侧面，他看到了那支插在水里的铅笔。
在水面和空气的交界处，铅笔“断”了。水下的那部分铅笔，看起来比水上的部分要粗，而且位置发生了明显的偏移。
折射。
初中物理知识。光从一种介质进入另一种介质时，传播速度发生改变，从而导致光路偏折。
林向阳的脑海中仿佛有一道闪电划过。他死死地盯着那杯水，仿佛那不是水，而是真理的海洋。
“朱老。”
林向阳的声音有些发颤，他举起那杯水，“为什么铅笔在水里看起来是断的？”
朱教授愣了一下，没好气地说：“折射率不同啊。空气的折射率 $n$ 约等于1，水的折射率 $n$ 约等于1.44。光在水里走得慢，波长变短了。”
“波长……变短了？”
林向阳捕捉到了那个关键词。
他猛地放下水杯，快步走到黑板前，抓起粉笔，在那行公式下面重重地画了一条线。
“我们一直在想怎么换光源，怎么把193nm的光源换成157nm的。但这路不通。”
“但是，如果我们不换光源，而是换介质呢？”
林向阳转过身，眼中的光芒亮得吓人。
“朱老，您刚才说，水的折射率是1.44。”
“如果我们把镜头和晶圆之间的空气抽干，注满这杯水呢？”
他在黑板上写下了等效波长的公式：
$$\lambda_{eff} = \frac{\lambda_{air}}{n}$$
“把193nm除以1.44……”林向阳快速计算，“等于134nm！”
“朱老，看！”林向阳指着那个数字，声音因为激动而拔高，“134nm！这比我们要死要活都搞不到的157nm光源还要短！”
“只要加一杯水，我们手里的193nm光源，就能发挥出比顶级F2激光还要强的分辨率！”
轰——
就像是一颗深水炸弹在朱克勤的脑海中炸开。
老教授猛地站起来，浑身颤抖。他冲到黑板前，盯着那个简单的除法算式。
这是最基础的光学原理。基础到任何一个物理系的大一新生都懂。但在光刻机这个精密到令人发指的领域，所有人都习惯了“真空”和“洁净空气”，从来没有人敢往那个充满了杂质和导电风险的“水”上去想。
“水……做介质……”
朱教授喃喃自语，手里的烟头烧到了手指都浑然不觉，“如果 $n=1.44$，代入 $NA = n \cdot \sin(\theta)$……$NA$值可以突破1！理论上可以达到1.35！”
“那分辨率……”朱教授迅速心算，“可以推进到45nm，甚至……28nm！”
“我的天……”赵子明在旁边听傻了，“林总，你是说，咱们往光刻机里灌水，这机器反而变强了？”
“不仅是变强，是进化。”
林向阳看着众人，语气坚定，“既然前面的路被封死了，那我们就把路淹了，游过去。”
“这就是——浸没式光刻。”
“不行！这太疯狂了！”
一直没说话的化工疯子陈志平突然站了出来，一脸的惊恐，“林总，我是搞化工的。理论上你是对的，但工程上这是自杀！”
“你知道水有多脏吗？哪怕是超纯水，里面也有离子。而且水在高速流动时会产生气泡！对于纳米级的光刻来说，一个微小的气泡就是一颗核弹，光线一散射，芯片就全是麻