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第368章 一千零一次失败(1/3)

    2013年6月15日,北京西郊,“深渊”实验室。

    初夏的北京燥热难耐,但在这深入地下三十米的恒温实验室里,气氛却冷得让人骨头缝里冒寒气。

    “第42批次,KrF光刻胶验证结果……”

    负责检测的工程师声音颤抖,不敢抬头看身边的那几位大佬。他将一张刚刚出炉的12英寸晶圆扫描图投射到大屏幕上。

    原本应该光滑如镜、刻满精密电路的晶圆表面,此刻在显微镜的高倍视野下,呈现出一幅令人绝望的景象——密密麻麻的微小针孔(pinholes)像是一张长满麻子的脸,分布在每一条光刻胶的沟槽里。

    还有那些肉眼不可见的残胶,像是一块块顽固的皮癣,死死地粘附在硅片表面,怎么洗都洗不掉。

    “良率……”工程师吞了吞口水,“0%。”

    “砰!”

    朱教授狠狠地把记录本摔在桌子上,脸色铁青:“又是杂质!又是过滤不干净!这已经是这个月报废的第十批晶圆了!陈志平到底在搞什么鬼?他送来的是光刻胶还是胶水?!”

    一旁的赵子明也心疼得直嘬牙花子:“林总,这一锅胶下去,不仅胶钱没了,这一批测试用的晶圆也废了。再加上光刻机的电费、工时费……这一下子就是好几十万没了。这几个月,咱们已经烧掉快两个亿了。”

    林向阳站在屏幕前,双手抱胸,面无表情地盯着那张“麻子脸”。

    三个月。

    从3月12日他在河北把陈志平请出山,到现在的6月中旬,整整三个月。

    红星化工厂(现向阳新材)的改造以“深圳速度”完成了。最先进的进口反应釜、气相色谱仪、超纯水系统……林向阳像搬家一样把最好的设备都塞进了那个破县城。

    陈志平那个“疯子”也确实拼命,吃住在实验室,一天只睡四个小时。

    实验室里的小样明明已经很完美了,纯度达到了99.9999%(6个9)。可一旦放大到工业生产线,一旦装进那大罐子里,各种妖魔鬼怪就出来了。

    金属离子超标、凝胶化颗粒、气泡残留……

    化工行业的“放大效应”,就像是一道天堑,拦在了实验室和工厂之间。

    “别骂了。”林向阳转过身,声音平静得可怕,“备车。去河北。”

    ……

    河北,向阳新材(原红星化工厂)。

    刚一进厂区,林向阳就感觉到了一股压抑的气息。

    曾经那些在院子里打牌、晒太阳的工人不见了,取而代之的是一个个穿着全封闭防尘服、走路带风的身影。整个厂区实行了最严格的准军事化管理,连一只苍蝇都飞不进核心车间。

    但在总工程师办公室里,气氛却像是一个即将爆炸的高压锅。

    “我不信!一定是检测设备有问题!”

    陈志平头发乱得像鸡窝,眼窝深陷,正对着电话咆哮,“我的配方绝对没问题!小样检测明明是合格的!为什么一上大罐就出杂质?是不是你们的管道没洗干净?!”

    看到林向阳推门进来,陈志平挂断电话,像个做错事的孩子一样,原本高亢的声音瞬间低了下去。

    “林……林总。”

    陈志平的手在脏兮兮的白大褂上蹭了蹭,不敢看林向阳的眼睛,“第42批次……又废了?”

    “废了。”林向阳拉过一把椅子坐下,没有责骂,只是平静地陈述事实,“针孔密度每平方厘米50个,金属离子残留超标20倍。这批货连做低端LEd都不够格,更别说做芯片了。”

    陈志平颓然地瘫坐在椅子上,双手抱着头,手指深深地插入灰白的头发里。

    “我找不到原因……我真的找不到原因。”老人的声音带着哭腔,“我把所有的管路都换成了特氟龙,所有的过滤器都换成了0.02微米的进口滤芯。连工人的呼吸我都让他们憋着……为什么?为什么还是有钠离子混进去?”

    对于做精细化工的人来说,钠离子就是噩梦。它无处不在,却又致命。只要几个ppb(十亿分之一)的钠离子混入光刻胶,在电场作用下,它们就会像地鼠一样在绝缘层里乱窜,导致芯片短路。

    林向阳看着眼前这个快要崩溃的老人。

    他知道陈志平已经尽力了。这三个月,这个六十岁的老头瘦了整整二十斤。

    “陈工。”林向阳开口道,“你有没有想过,也许污染源不在设备里?”

    “不在设备里?”陈志平抬起头,满眼血丝,“那在哪里?原材料我都检测过一百遍了!”

    “在泵。”林向阳指了指桌上的流程图,“我刚才进车间的时候,听到了输送泵的声音。你用的是什么泵?”

    “国产的不锈钢离心泵啊,但我做了内衬处理……”

    “换掉。”林向阳打断他,“离心泵的高速旋转会产生微小的机械磨损,哪怕是不锈钢,也会掉落下肉眼不可见的金属微粒。对于油漆来说这无所谓,但对于光刻胶,
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