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按照王世杰的汇报,光刻产线的光源设备已经完成研发。今天正准备将新组装的设备用于180纳米光刻机,替代原有的光源系统进行生产测试。
深蓝半导体的二号车间内,银色的180纳米光刻机静静矗立,机械臂正按预设程序精准运作,淡蓝色的激光在晶圆表面勾勒出细微纹路。
在车间的内侧,原本的193纳米深紫外光源设备已经被转移,取而代之的是一套崭新的银白色设备。
设备四周站满了技术人员,每个人脸上都带着紧张与期待,沈院士与楚千澜并肩站在观察窗前,目光紧紧锁定光刻机的核心区域。
王世杰穿着防静电服,手持数据平板快步走来,声音带着难掩的激动:“楚总、沈院士,光源设备已完成安装校准,各项参数均达到设计标准,现在就可以测试了!”
随着他的话音落下,周边的其他技术人员都安静了下来,似乎都在期待奇迹的诞生。
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