龙国目前的工业体系,很难复刻高端光刻机的核心部件。
王世杰却是语气坚定,“只有摸清每个部件的设计原理,才能推动国内供应商突破技术壁垒。
我们去年拆解的250纳米光刻机,已经完全吃透内部构造。按照计划,我们用国产部件复刻的250纳米光刻机,再有两个月就可以下线了。”
沈院士握着报告的手微微一松,眼中的担忧被难以置信取代:“两个月?用国产部件复刻250纳米光刻机?”
他深耕半导体领域数十年,太清楚高端设备国产化的难度。
250纳米光刻机虽非顶尖制程,但核心部件如精密导轨、伺服电机、光学镜头,长期依赖国外进口,国内厂商连逆向测绘都困难,更别提复刻组装。
去年王世杰通过他联系了很多厂商,当时他还以为双方应该是共同研究光刻机的某一种结构。
现在看来,当时就是复刻250纳米光刻机的某一种核心部件。
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