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第457章 精益求精(2/3)

种极其巧妙的几何学陷阱。利用晶体的生长方向,把缺陷“引导”到死胡同里去。

    “这……这理论上可行。”陆曼喃喃自语,“这叫ARt纵横比捕获技术。但是……”

    “但是什么?”

    “但是,要在硅片上刻出这么深、这么直、还要只有几十纳米宽的坑,国内的刻蚀机做不到。”

    “坑壁稍微歪一点,裂纹就跑出来了。”

    “而且,”陆曼指着那台老旧的机器,“我的这台分子束外延炉mbE,是二十年前的古董。它的温度控制早就坏了,正负误差5度。要在坑里长晶体,温度误差不能超过0.1度。”

    “巧妇难为无米之炊。”

    这就是科研的无奈。有想法,没设备。

    林远看着那台像废铁一样的机器。

    “设备坏了,我来修。”

    “刻蚀机不够好,我给你调。”

    “陆教授,从今天起,江南之芯就是你的后勤部。”

    “你要什么,我给什么。”

    说大话容易,干起来难。

    林远把王海冰和汉斯都叫到了北京。

    汉斯看着那台老掉牙的mbE炉子,直摇头。

    “林,这东西该进博物馆了。加热丝都老化了,真空泵也漏气。想让它控制在0.1度?除非上帝亲自来烧火。”

    “买新的呢?”

    “新的mbE是美国威科Veeco产的,属于最高级别的禁运品。给多少钱都不卖。”

    “那就只能修。”林远咬牙。

    “怎么修?零件都买不到。”

    “不用换零件。”林远指着控制面板,“换脑子。”

    “这台机器之所以温控不准,是因为它的控制逻辑是傻瓜式的pId控制。它不知道加热丝老化了,也不知道真空度在变。”

    “汪总,”林远连线汪韬,“给这台炉子,装一套AI温控系统。”

    “在炉子里,加装一百个传感器。”

    “实时监测每一个点的温度变化。”

    “然后,用AI去预测温度的波动,提前调整功率。”

    “虽然加热丝烂了,但只要我们控制得够快、够准,烂车也能开出法拉利的速度!”

    这是一场“由于贫穷而引发的技术爆炸”。

    工程师们把炉子拆得七零八落,缠满了各种线缆。

    “启动AI接管模式。”

    炉子轰鸣起来。

    屏幕上的温度曲线,原本像心电图一样乱跳。

    在AI介入后,曲线开始慢慢变平,变直。

    误差:±3度……±1度……±0.2度!

    “稳住了!”汉斯惊叹,“这AI简直是化腐朽为神奇!”

    炉子好了,接下来是“挖坑”。

    要在硅片上刻出深宽比达到10:1的纳米深坑,而且侧壁要绝对垂直。

    这需要“深硅刻蚀dRIE”技术。

    国内的刻蚀机,刻浅坑还行,刻深了,侧壁就会变成“V”字形,或者像狗啃一样。

    “怎么办?”王海冰看着显微镜下的废片,“侧壁不直,缺陷锁不住。”

    “用博世工艺bosch process?”

    “试过了。博世工艺会在侧壁留下波浪纹Scalloping,更糟糕。”

    林远盯着那些坑。

    “既然刻不直……”

    “那我们就修直。”

    “怎么修?”

    “湿法腐蚀。”

    林远想起了他在大学学过的晶体知识。

    “硅晶体是有方向的。它的111晶面,化学性质非常稳定,很难被腐蚀。”

    “我们用氢氧化钾Koh溶液去泡它。”

    “强碱会把其他乱七八糟的面都腐蚀掉,最后只剩下那个最硬、最平、最直的111面!”

    “这叫自停止腐蚀。”

    “利用大自然自己的规则,去修整出完美的墙壁!”

    坑挖好了,炉子稳了。

    最后的时刻到了。

    陆曼颤抖着手,将一片处理好的硅片放进了炉子里。

    “开始生长。”

    源炉打开。铟和磷的原子束,像蒸汽一样喷射出来,落在那一个个微小的深坑里。

    这是一个微观世界的奇迹。

    原子们落入坑底,开始排列。因为“脚不合鞋”,裂纹产生了。

    裂纹沿着45度角向上生长。

    “砰!”

    裂纹撞在了侧壁的“墙”上,停住了。

    而晶体继续向上生长。

    越过坑口,长出了一朵朵完美无瑕的、蘑菇状的量子点晶体。

    就像在悬崖峭壁上,开出了一朵朵纯净的花。

    五小时后。

    晶圆出炉。

    激光泵浦测试。

    一道明
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