传统的磨盘不行，会有划痕，且无法处理非球面。
离子束抛光太慢，修一个镜子要一年。
必须上磁流变抛光。
这是一种神奇的流体。在普通状态下是液体，但在磁场中瞬间变成固体，高粘度流体。
利用磁场控制流体的硬度和形状，像一个柔性的磨头，去拂拭镜片表面。
“美国qEd公司垄断了mRF设备。”王海冰脸色难看，“我们买不到。”
“谁说要买了？”
林远拿出一份文件。
《国防科技大学精密工程实验室合作协议》
“别忘了，我们是军民融合单位。”
“国防科大搞mRF已经二十年了，是用来磨激光武器反射镜的。”
“虽然他们的设备有点土，不够自动化。但原理是一样的。”
林远把国防科大的教授请到了江州。
“我们要对军用的mRF机床进行AI化改造。1. 驻留时间算法。汪总，你要训练一个模型。根据镜面的误差图，计算出抛光头在每一个点需要停留多少毫秒。”
“哪里高了，就多磨一会儿；哪里低了，就少磨一会儿。”
“2. 流体稳定性控制，磁流变液在使用中会老化、沉淀。我们需要一套实时循环监测系统，动态调整磁场强度，保证去除函数的稳定性。”
接下来就是实战了。
巨大的机床上，机械臂带着磁流变喷头，在巨大的萤石镜片上缓缓移动。
没有噪音，没有火花。
只有黑色的磁流变液，像丝绸一样滑过镜面。
这就是原子级切削。
每一次拂过，带走几层原子。
一周后。
检测结果：RmS = 0.35nm。
山田光一看着那块如同一汪清水般的镜片，跪在地上，泣不成声。
“这是……神迹。”
镜子磨好了。
但怎么装？怎么测？
这块镜子重达几百公斤。把它竖起来，重力会让它发生微米级的形变。
对于0.5纳米的精度要求来说，微米级的形变简直是灾难。
而且，没有Zygo干涉仪，怎么知道它磨对了没有？
“我们没有干涉仪。”王海冰绝望地说，“没有尺子，我们怎么知道布匹的长度？”
“那就造一把尺子。”
林远看向汉斯。
“汉斯，你还记得ASmL是怎么测镜子的吗？”
“他们也不用Zygo。”汉斯说，“对于这种超大口径，他们用点衍射干涉仪（pdI）。”
“不需要大口径的标准镜，只需要一个针孔。”
激光通过一个微米级的针孔，衍射出完美的球面波。
用这个完美的球面波作为基准，去和被测镜面的反射波进行干涉。
“这不需要复杂的透镜，只需要精密的机械结构。”
“但是，”汉斯皱眉，“要在重力环境下测量，必须把镜子卸载。”
“卸载？”
“对。用几十个支撑点，把镜子的重力抵消掉，模拟太空中的失重状态。”
“这需要极其复杂的主动支撑系统。”
林远调来了石头科技的机器人团队。
“张博，我要你们做一个液压+压电混合支撑床。”
“粗调，36个液压囊，承担镜子99%的重量。精调，每个液压囊上，装一个压电陶瓷致动器。”
“然后，用AI实时计算镜子的受力变形。当重力把镜子往下拉时，压电陶瓷就往上顶。”
“我们要让这块几百公斤的玻璃，在地球上漂浮。”
三个月后。
江州，恒温恒湿控制在0.01度的超净装配车间。
一座高达3米的巨大金属塔矗立在中央。
这就是启明-Nikon high-NA物镜系统。
里面层叠着12块巨大的萤石透镜和石英透镜。
每一块透镜，都漂浮在主动支撑系统上。
“激光对准。”
一束红色的引导激光射入物镜顶部。
经过12次折射，最终汇聚在底部的像面上。
“波前像差检测……”
所有人都屏住了呼吸。
这是最后的审判。
屏幕上，泽尼克多项式的系数开始跳动。
RmS wavefront Error: 1.2 nm.
“1.2纳米？”山田光一惊叫，“这……这比ASmL的EUV镜头还要好！”
要知道，EUV镜头的波前像差通常在2nm左右。
“因为我们用了透射式。”李振声解释道，“EUV只能用反射式，反射式对表面精度要求