FSm反射镜发出高频的“滋滋”声，它在以每秒1000次的频率微调角度，对抗着来自大地的震动。
“启动闭环控制。”
屏幕上，原本乱跳的光斑，突然像被钉子钉住了一样，死死地停在靶心中央。
抖动量：0.5微弧度。
“稳住了！”
但是，还没等大家高兴太久。
“警报！FSm驱动器过热！”
“压电陶瓷发热严重！线性度下降！”
高频震动带来了巨大的热量，导致压电陶瓷的迟滞效应变大，控制精度开始漂移。
“加散热！”林远当机立断。
“给每个镜座，加装半导体制冷片tEc，恒温控制在25±0.01度！”
这是一场与“熵”的战斗。为了维持那一束光的稳定，背后是无数套复杂的温控、电控系统在疯狂运转。
光强够了，光路稳了。
但在连续运行了24小时后，一个新的问题出现了。
“光功率在衰减。”
王海冰看着监控曲线。
“每小时衰减1%。照这个速度，三天后就没光了。”
“去检查镜片。”
工程师打开真空管道，取出了反射镜。
所有人倒吸一口凉气。
原本晶莹剔透的镜片表面，覆盖了一层薄薄的、黑色的物质。
“是碳。”张教授用光谱仪测了一下。
“哪里来的碳？”林远问，“我们的管道是超高真空UhV，10的负9次方帕。怎么会有碳？”
“光化学污染。”
汉斯叹了口气。
“真空系统里，不可避免地会有微量的有机挥发物Vocs。比如密封圈释放的烷烃、泵油的蒸汽。”
“在193nm高能光子的轰击下，这些有机分子会发生裂解，碳原子沉积在镜片表面，形成石墨层。”
“石墨对紫外光是强吸收的。这层膜越厚，吸收越强，镜片越热，最后炸裂。”
这是深紫外光学系统的癌症。ASmL当年为了解决这个问题，花了整整五年。
“换金属密封圈？换无油泵？”王海冰问。
“没用。哪怕是一个分子的有机物，时间长了也会累积。”
“不能防，只能洗。”
林远提出了方案。
“我们不能每次都把镜子拆下来洗。那样光路又要重新调。”
“我们要搞原位清洗。”
“在每个反射镜仓里，安装一个射频等离子体发生器。”
“当我们不曝光的时候，向仓内通入微量的氧气。”
“激发氧等离子体。”
“活性氧原子o会与镜片上的碳发生反应，生成二氧化碳气体，被真空泵抽走。”
“这叫光刻机的透析。”
风险就是氧等离子体如果不控制好，会连同镜片上的镀膜一起腐蚀掉。
“汪总，这又需要你的算法了。”
“根据碳沉积的速率，精确控制清洗时间和功率。多一秒伤膜，少一秒洗不净。”
一个月后。
所有子系统就位。
高反射率氟化物膜、主动稳像FSm系统、原位等离子清洗系统。
“全系统联调。”
林远站在光刻机车间。
50米外，地下掩体里，SSmb光源全功率输出。
“光闸打开！”
一道看不见的深紫外光束，穿过了漫长的真空管道，在8面反射镜上跳跃、折射。
它躲过了地面的震动，穿透了黑色的碳膜，最终……
轰击在光刻机的照明系统入口处。
功率计读数跳动：
接收功率：65w。
传输效率：65%！
虽然损失了35%，但这对于193nm波段来说，已经是工程学的奇迹。这65w的功率，依然是传统光源的1.5倍！
“光到了！”
王海冰激动得热泪盈眶。
他们用一堆并不完美的零件，通过极致的系统工程和算法补偿，搭建起了一条通往纳米世界的光之高速公路。
庆功宴上，大家都很沉默。
只有他们自己知道，这束光背后，是多少个不眠之夜，是多少次在物理极限边缘的试探。
“林董，”汉斯喝了一口啤酒，“这套传输系统，造价太高了。”
“光是那些FSm镜子和控制系统，成本就超过了光源本身。”
“如果要在全国推广，这笔钱……”
“钱不是问题。”林远看着手中的酒杯。
“问题是，我们把设备做成了精密仪器，这很难维护。”
“我们需要把这套系统傻瓜化。”
“下一步，我们要