来了光刻机……也不会用?”郝纯纯眨着大眼。
陈梦晗那边已经赶紧打电话给刘一首和蒋新松这两位技术部的部长过来查看。
其中蒋新松还带来了一个白发老头,陈梦晗认得出他,也是被钱德多带来的院士之一!
“真是14nm制程的dUV光刻机!”郭汝京惊呼起来,赶忙带着手下的博士一起研究。
他是见过光刻机的,但是手底下的博士学生们,却是第一次见。
见到郭汝京开始操作,那些博士只能一点一点的学。
“前道工序 - 晶圆制造!利用光刻胶和紫外光,将设计好的电路图形像“投影”一样转移到晶圆上。这是决定芯片特征尺寸(如7nm、5nm)的最关键步骤。”
郭汝京一边操作,一边介绍:“这是最核心、最复杂的环节,必须要在晶圆厂的无尘室内进行。
其本质是在晶圆上重复数十次“薄膜沉积 - 光刻 - 刻蚀 - 掺杂”的循环,构建起立体化的晶体管和互联线路。”
“而在这一个步骤里,最重要的设备,就是这光刻机……”
郭汝京看着面前的光刻机,熟练的按照操作说明进行开机。
然而,过了一会,他的脸色却是黯淡了下来,“果然,这光刻机被锁了!”