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第386章 气泡的诅咒(2/3)

,“把水关起来。”

    “笼子?”

    “对。”林向阳拿起纸笔,画了一个奇怪的结构。

    “传闻ASmL在搞出一种叫‘气刀’的东西。但在现在,我们造不出那么精密的部件。”

    “我们用笨办法。”林向阳在注水口的外围,画了一圈吸气口。

    “中间注水,外圈抽水。同时,在最外层,加一圈高压空气喷嘴,向下吹气。”

    “用高压空气形成一道看不见的墙,把水封死在镜头下面。这就叫——风刀水墙。”

    王博看着那个设计图,眼睛越睁越大。

    “妙啊……”王博飞快地在脑子里建模,“中间是层流,外围是湍流。用风刀锁住边界,利用伯努利原理,把溢出的水和卷入的气泡强行吸走!”

    “这需要极高的加工精度,喷嘴的缝隙误差不能超过1微米。”

    “那就用光刻机去刻喷嘴!”林向阳斩钉截铁,“我们有世界上最好的微纳加工设备,为什么不能给自己做零件?”

    ……

    2014年6月15日。

    一个月后。

    “盘古1号”已经面目全非。

    它的镜头下方,多了一个造型奇特的“浴霸”——那是王博用90nm工艺雕刻出来的“风刀喷头”。

    而在供水箱里,装满了陈志平特调的、带着淡淡蓝色的“魔法水”。

    “第108次实验。准备。”

    林向阳的声音平静,但手心全是汗。

    这是最后的机会。台积电的库存只能撑一年,如果这条“水路”走不通,向阳集团的高端之路就断了。

    “注水。”

    随着高压泵启动,一股极薄的水膜在风刀的压制下,极其平稳地覆盖在了晶圆表面。

    高速相机捕捉到了这一幕:水流像是一块凝固的水晶,随着晶圆台的高速移动而移动,没有飞溅,没有断裂,更没有那该死的气泡。

    “曝光开始!”

    紫色的激光束穿过那层“魔法水”。

    由于水的折射率1.44介入,原本发散的光线被再次聚焦,以更锐利的角度刺入光刻胶。

    十分钟后。

    朱教授捧着刚刚显影出来的晶圆,手颤抖得像是在帕金森发作。

    他把它放进电子显微镜。

    大屏幕亮起。

    全场死寂。

    没有麻子。没有黑斑。

    映入眼帘的,是一条条笔直、锋利、深邃的电路沟槽。它们排列得如此紧密,如此整齐,就像是上帝用尺子画出来的一样。

    “测量线宽……”朱教授的声音带着哭腔。

    光标卡尺在屏幕上拉动。

    数字跳动,最终定格: 64.8 nm。

    “65纳米!”

    朱教授猛地摘下眼镜,老泪纵横,“突破了!我们突破了干式光刻的物理极限!哪怕是用180nm的老底子机器,我们也做出了65nm的线条!”

    “而且……”王博盯着边缘锐度,“因为用了老陈的特调水,边缘粗糙度(LER)比干式还要好!这意味着我们还可以继续往下缩!”

    “只要多重曝光,我们甚至能摸到45nm的边!”

    实验室里爆发出了震耳欲聋的欢呼声。

    陈志平瘫坐在地上,手里还紧紧攥着那瓶眼药水,笑得像个孩子。王博靠在服务器机柜上,长长地出了一口气。

    林向阳看着屏幕上那完美的线条,心中悬着的巨石终于落地。

    他知道,这不仅仅是65纳米。

    这是向阳集团在被切断双腿后,学会的游泳。

    “封存数据。”

    林向阳转过身,对王博说道,“这套‘浸没式系统’的图纸和配方,列为集团绝密。除了在场的人,谁也不许透露半个字。”

    “我们要给科恩准备一个大大的惊喜。”

    “等到明年,当他以为我们要断气的时候,我们要从水底下浮上来,给他致命一击。”

    ……

    与此同时。美国,华盛顿。

    科恩正在参加商务部的一个闭门听证会。

    “关于对向阳集团的制裁效果……”科恩自信地对着麦克风说道,“目前来看,效果显着。他们的海外供应链已经切断,台积电的代工虽然还有存量,但也只是在苟延残喘。”

    “根据我们的技术专家评估,中国本土的光刻机技术依然停留在90nm的水平。这是物理规律决定的,他们没有光源,没有镜头,就不可能突破。”

    “所以,我建议维持现有制裁力度。静待其变。”

    台下的议员们纷纷点头。在他们看来,这只是一场毫无悬念的绞杀。

    然而,科恩不知道的是。

    就在他发言的这一刻,在大洋彼岸的那个地下实验室里,物理学的规律已经被改写。

    那一层薄薄的水,不仅折射了
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