&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;极紫光的关键点在于什么?
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;经过一个月的研究,秦逍终于有了自己对极紫光的一种理解。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;而这其中,难度最大的,莫过于euv光源的激发。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;所以,极紫外光刻技术,也被称之为euv光刻,是目前全世界范围内,最先进最前沿光刻机使用的一种光刻技术。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;而想要达成极紫光刻技术,最重要的一点就是不会产生辐射的光源激发。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;经过这段时间的研究,秦逍发现,中性原子和凝聚态物质不会产生euv辐射。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;但想要让一种材料发光,首先需要做到的就是电离,因为极紫外光,只会被多个带正电的离子束缚的电子产生。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;举个例子,一个电子从+3碳离子ev的要求,这样的电子比典型的价电子更紧密地结合。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;多价正离子只能存在于高温高密度等离子体中,并且自身会强烈吸收euv。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;这,才是实现极紫光刻技术的关键。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;而且,euv光刻与当今使用比较广泛,同属于科技前沿的深紫外光刻有很大不同。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;euv可以吸收所有材料中的euv,因为它接近波长为135n的软射线。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;因此,euv光刻必须在真空中进行,非真空状态,也许就会导致euv光的损失。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;这些,就是秦逍这段时间的收获。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;也许,相对来说还有很多地方有所缺陷,可开展第一次极紫光刻却也是足够了。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;实际运用,才是检验真理的唯一标准20,同样的,也是发现问题的关键。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;实验室中,林海源等人正在紧张的准备着各种仪器设备。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;与之前的实验略显不同,极紫光刻技术要求极高,能否一次成功,哪怕秦逍都是信心不大,这也就意味着,再进行实验过程中的数据收集工作就变得至关重要。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;极紫光刻技术的问题出在哪里,不算肉眼就能看出来的,需要借住各种仪器设备传感器捕捉数据,通过数据来直观的了解到一些信息,从这些信息中发现问题,解决问题,不断地进行尝试,修复,完善,最终,才有可能研发出真正地euv光刻机。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;知道这次实验重要性的林海源等人,都很谨慎,生怕自己这里出错到底实验不成功,或者无法捕捉到关键性的数据。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;两个多小时的各种调试下来,发现没有什么问题的林海源等人,这才松了口气,直接走到不远处的办公室。
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;林海源抬手直接敲门“秦总师,所有设备都调试好了。”
&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;&nbp;此时此刻,秦逍还在查看之前的设计书,没有发